Notre offre de formation
La micro-nano technologie : introduction aux procédés Présentiel
Dernière mise à jour : 07/10/2025
Description
Environnement salle blanche : contamination et zones à atmosphères contrôlées
- La contamination : définitions/mécanismes
- Salles blanches et filtration des fluides
- Les nettoyages humides : exemples et contamination de surface en procédé
Initiation au vide
- Les gaz et la pression, les pompes, les fuites, le dégazage
Elaboration de couches minces
- PVD, CVD : principes des techniques
- Contraintes, modes de croissance : définition et influence sur les propriétés physiques (adhérence...)
La lithographie optique
- Les résines, leurs paramètres importants : résolution, contraste, sensibilité, courbe de réponse spectrale, tenue à la gravure
- La photolithographie : les différents modes d'insolation, la résolution, les perturbations (diffraction, proximité...)
Les techniques de gravure
- La gravure chimie/physique, la gravure sèche/humide
Objectifs de la formation
- Connaître les conditions de travail en salle blanche
- Acquérir des bases dans différents domaines des micro et nano-technologies : lithographie, gravure, dépôt de couches minces, plasmas
Public visé
Toute personne souhaitant mettre en œuvre des procédés technologiques
Prérequis
Aucun
Modalités pédagogiques
Alternance de cours (70 %) et de travaux pratiques (30 %)
Moyens et supports pédagogiques
Un support papier et un fichier au format PDF seront mis à disposition du participant.
Modalités d'évaluation et de suivi
Un suivi individualisé par des évaluations formatives est assuré. Une attestation de fin de formation est délivrée à la fin du parcours.
Formateurs
AG
AGNUS Guillaume
Responsable scientifique
WM
WOYTASIK Marion
Responsable scientifique
Modalités tarifaires spécifiques
Nos formations sont exonérées de TVA. Elles bénéficient de remises volumes : - 5% pour 3-4 inscrits, - 10% pour 5-6 inscrits, et - 20% à partir de 7 personnes. Une réduction de 20% est appliquée pour les agents salariés du CNRS.
Informations sur l'accessibilité
Notre laboratoire est entièrement accessible aux personnes à mobilité réduite (PMR). Un accès adapté, des espaces de circulation et des sanitaires spécifiques sont à votre disposition pour garantir votre confort et votre autonomie. Pour toute information complémentaire, veuillez nous contacter.