Microanalyse élémentaire par spectrométrie de RX à dispersion d’énergie (EDS) Présentiel

Les cours alternent TD ou TP.

Cours (10h) :

• Etude des phénomènes physiques rencontrés lors des interactions entre le faisceau électronique et la matière
• Microanalyse EDS-X : analyses qualitative, semi-quantitative et quantitative avec standards (méthodes de calcul corrections) ; Limites de la méthode d'analyse
• Etudes de cas : les stagiaires peuvent apporter leurs échantillons (préparés)

Travaux Dirigés (3h) :

• Simulation des trajectoires électroniques par la méthode de Monte-Carlo
• Traitement de données issus de cas réels afin que l'utilisateur puisse rechercher les conditions optimales de mesure

Travaux Pratiques (11h) : MEB (10% du temps) et Microanalyse EDS (90% du temps)

• Microscopie électronique à balayage (canon, détecteurs, mise en œuvre…)
• Fonctionnement du microscope électronique à balayage
• Imagerie en électrons secondaires (SE) et rétrodiffusés (BSE)
• Recherche et caractérisation de phase : optimisation des paramètres d'acquisition, traitement des spectres, analyses qualitatives
• Analyses semi-quantitatives
• Analyses quantitatives (avec témoins)
• Analyses des éléments légers (O,… )
• Cartographies élémentaires et spectrales : traitement des données

• Acquérir les connaissances de base théoriques et pratiques nécessaires à l'utilisation d'un système de microanalyse X fonctionnant en dispersion d'énergie (EDS)
• Déterminer les paramètres d'analyse pertinents pour le matériau étudié
• Mettre en œuvre les études de caractérisation pour les trois niveaux d'analyses : qualitative, demi-quantitative ou quantitative
• Interpréter les résultats et connaître les limites de la méthode

EQUIPEMENT : Microscope électronique à balayage ZEISS Ultra+ à canon à effet de champ doté de systèmes de microanalyses chimique fonctionnant en dispersion d'énergie et par diffraction d'électrons rétrodiffusés (EDS & EBSD Bruker).

Supports papier et logiciels (freeware)